智能检测有两大优势：一是更智能、更精细、更高效；二是人力本钱更低。出产线智能化将是制作业转型晋级的重要开展趋势，智能检测技能也将广泛运用于工业主动化、航天、电子等工作。

　　2023年2月23日，工业和信息化部、国家开展和变革委员会等七个部分联合发布《智能检测配备工业开展行动计划(2023-2025年)》中说到，“智能检测配备作为智能制作的中心配备，是“工业六基”的重要组成和工业根底高级化的重要范畴，对支撑制作强国、质量强国和数字我国建造具有重要意义。”针对我国智能检测配备工业仍存在技能根底薄弱、立异才能不强、高端供应缺乏等问题，中图仪器坚持以技能立异为开展根底，集光、机、电、信息技能于一体的技能团队，勇于立异，着力打破从微纳米到百米丈量的中心技能，坚持高质量出品，增强高端供应，打造质量强国。

　　1、交融立异检测技能、新式制作工艺与前沿科技范畴根底理论，研制出产一批前沿智能精细丈量检测配备。

　　VT6000共聚集显微镜用于对各种精细器材及资料外表进行微纳米级丈量的光学检测仪器。它是以共聚集技能为原理、结合精细Z向扫描模块、3D 建模算法等对器材外表进行非触摸式扫描并树立外表3D图画，经过体系软件对器材外表3D图画进行数据处理与剖析，并获取反映器材外表质量的2D、3D参数，然后完成器材外表描摹3D丈量。

　　SuperViewW1白光干与仪用于对各种精细器材及资料外表进行亚纳米级丈量的光学检测仪器。它是以白光干与技能为原理，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体外表，从纳米到微米等级工件的粗糙度、平整度、微观几许概括、曲率等，对各种产品、部件和资料外表的平面度、粗糙度、波纹度、面形概括、外表缺点、磨损状况、腐蚀状况、孔隙空隙、台阶高度、曲折变形状况、加工状况等外表描摹特征进行丈量和剖析。

　　GTS激光盯梢仪首要用于百米大标准空间三维坐标的精细丈量，集激光干与测距技能、光电检测技能、精细机械技能、核算机及操控技能、现代数值核算理论于一体，在大标准空间丈量工业科学仪器中具有高精度和重要性，是一起具有μm等级精度、百米作业空间的高性能光电仪器。激光盯梢仪可用于标准丈量、装置、定位、校正和逆向工程等运用，是功用强大的计量检测工具。广泛运用在各种大标准空间精细丈量范畴，如在航空航天范畴对飞机零部件及安装精度的丈量；在机床工作中对机床平面度、直线度、圆柱度等的丈量；在轿车制作中对车型的在线丈量；在高端制作中对运动机器人方位的准确标定。此外，激光盯梢仪还可以广泛运用到造船、轨道交通、核电等先进制作各个范畴。

　　2、 交融新技能，经过工程化攻关，晋级换代一批运用面广的通用智能精细丈量检测配备。

　　Hybrid系列复合式闪测仪是一种先进的全主动印象丈量仪，根据大理石主体机台和精细伺服操控体系，选用电动变倍镜头和大视场双远心镜头的混合架构，充分发挥光学电动变倍镜头的高精度优势和大视场双远心镜头的功率优势，能完成精度和功率的优化组合丈量。

　　Novator系列全主动印象仪将传统印象丈量与激光丈量扫描技能相结合，能完成2.5D和3D复合丈量。还支撑频闪照明和飞拍功用，可进行高速丈量，大幅提高丈量功率；具有可独立升降和可替换RGB光源，可习惯更多杂乱工件外表。立异支撑多种丈量新特性、新功用。

　　移动桥式的三坐标丈量机结构特点是开敞性好，视界开阔，上下零件便利，运动速度快，精度高。配备高精度的导轨、测头和操控体系，并结合核算机程序来主动操控检测流程，然后核算输出丈量成果，支撑测头替换架以及印象相机，一起支撑精细转台等，可以对各种零件和部件的标准、形状及彼此方位联系进行检测，也可以对软原料或杂乱零件进行光学扫描丈量。可用于机械制作、轿车工业、电子工业、航空航天工业以及计量检测等范畴，是现代工业检测和质量操控的重要检测设备。

　　3、 交融新原理、新资料、新工艺，研制开发一批专用智能精细丈量检测配备。加强新式范畴专用检测配备研制。

　　WD4000晶圆几许描摹丈量体系可以在一个丈量体系中主动丈量Wafer厚度、外表粗糙度、微纳三维描摹。运用光谱共焦技能丈量晶圆厚度、TTV、BOW、 WARP等参数，一起生成Mapping图；选用白光干与丈量技能对Wafer外表进行非触摸式扫描一起树立外表3D层析图画，显现2D剖面图和3D立体五颜六色视图，高效剖析外表的2D、3D参数。可广泛运用于Wafer制作及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精细配件、光学加工、显现面板、MEMS器材等超精细加工工作。

　　有图晶圆要害标准及套刻量测体系是一款集成高精度平面标准检测和亚纳米级外表3D描摹丈量的光学检测仪器，一起满意大范围多区域的高精度全主动检测，优异的重复性及功率有用削减人为差错及人员投入。可广泛运用于芯片、半导体制作及封装工艺检测、精细配件、光学加工、微纳资料及制作、MEMS器材等超精细加工工作，对器材外表进行非触摸式扫描并树立外表3D图画，可以对芯片Z向完成微纳标准的3D扫描和重建，准确丈量外表的高度概括标准；全主动上下料渠道，装备扫描枪，高效完成产线、强化人才培育

　　中图仪器携手深圳工作技能学院，一起培育集成电路立异型技能技能人才。两边就校企联合开发、人才培育、实训基地等方面进行了深化的沟通并达到开始协作一致，2023年2月20-24日，第一批精英实训班满意结课。

　　中图仪器坚持以技能立异为开展根底，具有一支集光、机、电、信息技能于一体的技能团队。历经20年的技能堆集和开展实践，研制出了根底计量仪器、惯例标准光学丈量仪器、微观标准光学丈量仪器、大标准光学丈量仪器、惯例标准触摸式丈量仪器、微观标准触摸式丈量仪器、工作运用检测设备等全标准链精细仪器及设备，能供给从纳米到百米的精细丈量解决方案。

　　未来，中图仪器仍将持续专心于精细丈量检测技能的开展，自强不息、知难而上、勇于立异，为我国制作技能的快速开展贡献力量！